旋片式真空泵机组
旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。在60℃温度条件下至少要到达6．5×10-5kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
而立式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。旋片式真空泵机组旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。
如何选用真空泵
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
3、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵;如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，也能达到清洁真空要求。
6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
真空泵应用技术的分支 真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支，东莞真空泵它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相堆积法。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。假如从真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理、化学性能的话，这一技术又是真空外表处置技术中的重要组成局部。
真空泵现就其几个主要应用方面做一简单引见。首先在光学方面，一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射（即增透膜）或者作任何预期比例的反射或透射资料，也能够作成对某种波长的吸收，而对另一种波长的透射的滤片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需求。排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切***空间，以消除它们对极限真空的影响。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。各种范围的继承电路。
