





蒸发镀膜
蒸发镀膜常称真空镀膜。其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70 多种元素、50 多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺,要求残余气体的压力为0.1~1Pa。
蒸发技术分为间歇蒸发与连续蒸发、直接电阻加热蒸发和间接电阻加热蒸发,连续生产与制造厚膜时采用连续蒸发加热。一个入射的蒸气原子在表面的滞留时间中,原子不断地扩散形成不均匀的成核作用,随着蒸气原子不断地冲击表面,各个核都在增长,相邻各核开始接触进入聚结阶段,直到形成连续膜。也可把上述过程划分为小岛阶段、网络阶段、孔阶段及连续膜阶段。
真空蒸发镀膜技术
蒸发粒子与基材碰撞后一部分被反向,另一部分被吸附。吸附原子在基材表面发生表面扩散,沉积原子之间产生两维碰撞,形成簇团,有的在表面停留一段时间后再蒸发。原子簇团与扩散原子相碰撞,或吸附单原子,或放出单原子,这种过程反复进行。当原子数超过某临界时就变为稳定核,再不断吸附其他及化合物原子而逐步长大,后与邻近稳定核合并,进而变成连续膜。