




轮廓仪特点
真正的大量程设计,Z轴传感器的实际量程为12mm,杠杆比仅为1:2.2!***1大限度保持了传感器的原有精度,在满量程下Z轴传感器的精度是国内同行的8倍!
右杠杆(装测针端)的长度达280mm!足够长的杠杆在实现同等高度的测量时,摆角小,从而在测量过程中避免零件表面的某部件与测杆的干涉。
Z轴传感器整体结构无任何弹性元件,从而保证无论测针处于任何位置测力均是衡定的。国内同行采用了如弹簧等弹性元件,测针位置不同,测力不同,测量时,由于测量力的变化导致杠杆的变形不一致,引起较大的、不可修正的随时测量误差。
粗糙度轮廓测量仪操作规程
1. 测量前一定要确保工件装夹稳固,防止发生倾倒损伤仪器,确保探针臂在运行过程中不会触碰工件。
2. 作业结束后,关闭软件,拿下轮廓探针放回放置探针的盒子,切断电源,整理工作台,清理卫生。
3. 每天下班前,必须做好防火、防盗工作,清理设备附件和工件,做好设备日常***和工作场地的清洁。
4. 测量时,请小心测针与传感器,不要发生碰撞的情况,请不要靠在机器上或除震台上,也不要用手触摸工件或者测针。
轮廓仪选择"正常探针",选择"基本条件",使用标准切片校正条件选择"标准值",将标准片校正条件的标准值设置为3.21um,并选择6.000mm/s的校正率将标准片放在水平平差表上。在集成电路行业,光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度。测量长度5λ,单击Filter,检查"使λs有效"、"比值"设置300,波长设置为0.8mm,单击"移除形状",将针移到下列图形的位置,点击测量,将测量值与标准块确定的值进行比较选择二乘法,确定并执行测量。

