一般的要求是:
1
、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2
、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
3
、抽气量、抽出气体介质、温度。
4
、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格
选用真空泵时需要注意事项:
1
、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求
1×
10-5mmHg
的真空度,
选用的真空泵的真空度至少要
5×
10-6mmHg
。
通常选择泵的真空度
要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
泵主要由泵体(7)、转子(9)和旋片(8)等零件所组成(见原理示意图)。在泵体腔内偏心地装着转子,
转子槽中装两块旋片,由于弹簧弹力作用及转子旋转所产生的离心力旋片紧巾腔壁,泵体中的进、排气只被
转子和旋片分隔成两个部分,转子在腔内旋转,循环水真空泵,周期性地将进气口部分容积逐渐扩大而吸入气体,同时逐渐
压缩排气部分容积,真空泵,将吸入气体压缩从排气阀(5)排出,因而达到抽气目的。
转动件和固定件之间的密封可直接由
水封来完成。
吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。
水环泵也有其缺点:
效率低,一般在
30%
左右,较好的可达
50%
。


真空度低,这不仅是因
为受到结构上的限制,水环式真空泵,
更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。
用水
作工作液,极限压强只能达到
2000~4000Pa
。用油作工作液,可达
130Pa
。
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