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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
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4 以轻钢龙骨作为技术检查空间时，在其空间内敷设维修通道至排出口；
5 洁净房间及人员洁净室的外墙窗户，无尘车间洁净工程，要有良好的气密性，有防止漏气及结露的功能；
6 洁净房间的门窗形状为简单、平滑、不易留存尘土、容易清扫的结构；不要设门槛；并且为防止因潮气产生***或门窗变形，洁净区域内的门窗不能使用木制品；
7 洁净房间的窗要向空气洁净度级别高的房间方向打开，并为便于一般设备的安装、修理及交换，窗户应有足够的大小；
8 洁净房间安装门窗的内墙面应平整，尽可能不要窗台。如有窗台，无尘车间洁净工程价格，为防止存留尘土，且清扫方便，无尘车间洁净工程服务，要尽可能做成斜面；
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乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，无尘车间洁净工程收费，000级。
定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。
特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
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