物理净化方式① 机械过滤：HEPA网，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。② 吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。
洁净室中的气压规定：对于大部分洁净空间，为了防止外界污染***，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
关于精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计，建议换气次数为：1 000级nv≮50；10 000级nv≮25；100 000级nv≮15单向流洁净室送风量以房间截面平均风速为准来计算：Q2=3600u F（3）。其中F—垂直于气流的房间截面积，m2；υ—截面平均风速，m/s。《洁净厂房设计规范》G***073-2001中规定：洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；保证供给洁净室内的新鲜空气量应不小于40m3/（h.人）。
