
按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等
。总之,由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除***、***
的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可
凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然
得到了广泛的应用
一般的要求是:
1
、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。
2
、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。
3
、抽气量、抽出气体介质、温度。
4
、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格
选用真空泵时需要注意事项:
1
、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求
1×
10-5mmHg
的真空度,
选用的真空泵的真空度至少要
5×
10-6mmHg
。
通常选择泵的真空度
要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
检查所接电源的电压、相数、频率是否与电机铭牌相符,耐腐蚀真空泵,地线是否可靠。
10、泵运转过程中油温不能高于
75℃,水环式真空泵,在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声,如有异声或温度骤升
时应停止工作,检查原因。
故障与检修
说明
11、停泵前必须关闭其余被抽系统联按之阀门(避免泵油进入被抽系统),循环水真空泵,然后关闭电机并注意是否打开了
充气阀,真空泵,***后停止冷却水。
12、检修后的泵,应先做运转试验和性能试验,再联接到系统上去。
13、泵不用时,应用橡皮把进气口塞好,以免污物落入泵内。
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