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涨知识！带你了解14类工业气体
蚀刻气体(Etching gases) ：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉, 而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来, 这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是, 图形边缘整齐, 线条清晰, 图形变换差小, 且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。
带您走进电子气-磷烷
安全防护
工作时不能露出皮肤。通风以保持空气新鲜干燥。气体钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处，要远离热源和火种，户外存放。设备管道可用氦探漏器、肥皂水探漏。应配备好应急处置用品。
纯PH3对通用金属材料无腐蚀性，但是在正常条件下不宜使用铝、铝合金和铜。可以使用碳钢、不锈钢、蒙乃尔、镍基合金、聚四氟乙稀、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、氟化橡胶、玻璃、石英、硼硅酸玻璃。可能发生磷烷着火的部位尽量避免使用可燃性材料。
消防***特性：
若遇高热，容器内压增大，有开裂的***。***燃烧产物：本品不燃。灭火方法：本品不燃。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使水枪射至液氮。
应急处理应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防寒服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
