





无油真空泵的未来发展前景
现在真空行业中,无油、清洁度好、真空度高的无油真空泵越来越多的受到各行业的关注,我国目前在无油真空泵的制作工艺等方面刚起步不久,但是已经显现出深远发展的趋势。当前一般传统的真空系统已经无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此,在日本,其干式真空泵中分子泵、低温泵发展得很快,而且真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统己被无油清洁的真空系统所代替。真空泵市场所发生的动态变化,显示了绿色环保领域在各工业体系中的渗透。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽,时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统,比如在真空干燥方面。而市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。我司认为,清洁的真空环境一直是科学界和企业界的理想真空环境,现在的无油涡旋真空泵已经达到了以前的期指,时至至今,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、爪式泵等多种产品,而无油涡旋真空泵以其鲜明的特点***被行业瞩目:如从结构上说,真空腔内无油、无接触、无摩擦,不产生微利尘埃污染;从节省能源角度说,双涡旋盘,结构与单级相比相同,直径泵抽气容积为两倍;抽气效率高、结构紧凑、运行平稳等。这些特点也相应的带动产业应用环境,如半导体行业、科学仪器行业等。

真空泵的工作压强
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。 正确地选择真空泵的工作点。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。 真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对***有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。


1、真空泵油的密封性
真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。
2、真空泵油的饱和蒸汽压
饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。
油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
