物理式净化
1.吸附性过滤—活性炭活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风过程中被污染程度较低。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力缺点：普通活性炭并不能吸附所有的有***体，效率较低、易脱附。
2.机械性过滤—HEPA网HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为***空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
4、自控装置保证全程调节
目前，有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节，但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层，而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶，基本上都是在安装调试时调好，此后，大都没再调节过，实际上也无法调节。为确保洁净厂房的正常生产和工作，应设置一套较完整的自控装置，实现以下功能：洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节；高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测；气体纯度、纯水水质的监测等。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。
净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加，阻力增大，为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时，为使风机空载启动，则需将风机出口处风阀关闭，风机启动后，因风阀上承受很压力，开启十分困难。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网)。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后，送风量的调节会变十分容易，送风压力稳定。
这些监控装置可设计成单个系统的测量，控制系统，也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时，电加热器会继续送电加热，造成设备损坏甚至发生火灾，为避免这种情况的出现，应设置无风以及超温断电的保护。
提高设备水平
设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以洁净车间除了合理布局外，提高设备的自动化水平和组成联动的生产线，以减少操作人员，降低人员的活动频率，是防止交叉污染的必要措施。
分设洁净车间空调净化系统
洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。对β-内酰胺类、避孕***、强毒微生物等的工作室，应设置空调净化系统，其排风口应安装***过滤设备，以将这些药的污染降至低限度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净车间，被排介质毒性大的、，应单独设局部排风系统。洁净车间的排风口应有防倒灌装置。(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。送风、回风和排风的启闭应有连锁装置。
