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致力于材料分析测试与技术研发按照测量对象的不同，洁净室检测费用，精密仪器可以划分为以下几类：①几何量精密仪器主要包括检测各种几何量的精密仪器，如立式测角仪、激光干涉比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等测量仪器。②热工量精密仪器主要包括温度、湿度、压力、流量检测精密仪器，如各种气压计、真空计、多波长测温仪表、流量计和高度表等。③机械量精密仪器主要包括各种测力仪器、应变仪、加速度与速度测量仪、转矩测量仪、振动测量材料实验机和布氏硬度计等。④时间频率精密仪器。

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6．显示记录部件显示记录部件用来显示和存储测量结果，包括的种类很多，如指针表盘、记录器、数字显示器、打印机、荧光图像显示器以及各种ROM和RAM存储器、磁盘、CF和SD等各种存储卡。7．驱动控制部件驱动控制部件驱动测量部分的测头移动或驱动工作台实现测量动作；在自动检测仪器中，其对数据处理部件的输出——测得的误差量进行放大转换，驱动执行元件实现系统的动作。