湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,六安洁净室,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,百级洁净室,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。

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***检测实验室主要设有这些分区:送检样品的接受与贮存区;***、标准品的接受与贮存区;清洁洗涤区;特殊作业区;一般分析实验区;数据处理、资料储存区;办公室;人员用室如更衣室或休息室。其中的主要功能间有:中心实验室;仪器室;微生物检查室;干燥室;质检办公室、档案室等管理功能间。


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