特种气体的分类
特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，特种气体厂，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
特种气体施工方法：
在管道安装前，应绘制管道轴侧图，标明管道的长度和焊口的详细位置。绘图时应多考虑焊接的操作空间，并尽量着气流的方向进行安装。为了防止微粒污染，管道的所有预组装加工应在临时净化间内进行。管子在切割过程中应防止变形或划出痕迹，在切割的过程中用高纯***气进行吹扫以避免污染。切割完后，用专用刮削工具将端口刮削至平整，光滑，如端面不平，用专用工具将未端平整。焊接接口的好坏将直接影响到焊缝的质量，从而影响整个配管安全。
特种气体输送管道系统的施工
在现场施工时，周围的环境会对洁净管道有污染的***性，沈阳特种气体，因此应尽可能地在临时净化间内施焊，减少现场焊接点的数量。在全自动脉冲***弧焊焊接过程中，如果管内残留有氧气或水分，则在焊接部位会形成氧化膜，变成微粒发生源，所以，电子特种气体，在焊接过程中及焊接前后，用高纯氮气充分置换管内的氧气或水分是非常重要的。焊接保护气体经过0.05um过滤器过滤。现场每完成好一部分管道，两端阀门必须关紧（如没有阀门，管内就应一直充着***气保护）在管道施工过程中难免会有微粒进人管道系统内，管路系统的吹扫是一个必不可少的过程；高纯气体管道用高纯氮气进行吹扫，特种气体生产厂家，先吹主干管，其次吹支干管，***后吹扫各支管。
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