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洁净空调系统设计

3.1 洁净冷负荷计算

夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2，1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备，发热量较大)。

3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU DCU FFU的空调方式，洁净房空调及气流***形式见图1。

其中，FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit)，另外，净化***室哪家好，新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段，表冷段，中效段，加热段(厂家有热水系统，采用热盘管)，加湿段(厂家有蒸气)，高段。其中，空气清洗段厂家先要求预留，以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制，保持洁净房的正压和人员新风需求。

千级洁净棚采用铁方通喷塑、不锈钢方通、铝型材作为框架，FFU(风机过滤单元)送风，四周悬挂防静电垂帘或钢化玻璃，内部净化级别可达到静态100-10000级(美联邦209E标准)。洁净棚适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。

千级洁净棚特点

洁净棚整体采用冷轧钢板喷塑、不锈钢和铝合金等几种材料

相对超净工作台内部有效空间更大；

相对传统洁净室，洁净棚具有施工快、成本低、且对楼层高度要求低的优势。

洁净棚采用可调风量系统，保证工作区风速处于理想状态。

洁净棚适用洁净生产线，多人使用方便。

洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，宁波净化***室，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，净化***室多少钱，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，***近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的***处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。