洁净实验室作为科学研究、产量优化、安全保障和质量控制的重要组成部分,在实验室设计领域和制造过程中越来越重要。设计和建设洁净实验室,洁净室工程,应充分考虑其潜在***性,并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。根据《洁净厂房设计规范》规章规定,对工作认为比较合适的低照度作了统计,其结果略高于150lx。因此,将一般照明的下限值定为150lx是合适的,虽然在300lx时有更高的工作效率。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,洁净室设计,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

离心式冷水机组离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。离心式冷水机组的制冷量较大,洁净室安装,常用的水冷式离心式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃,蒸发器出口冷冻水温度设置为7度,单机容量通常在1163kW以上,淮北洁净室,所以,离心式冷水机组一般用于大型***空调系统。热泵机组的循环流程有几种形式,但不论何种,系统中除装有制冷系统中的四大元件外,还需装有四通换向电磁阀、单向阀等,使制冷剂的流动方向在制冷或制热状态时能得到控制。


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