光电类无尘车间、无尘车间、轶凡净化

东莞市轶凡净化工程有限公司（东莞市轶凡建筑装饰工程有限公司）为各类高科技企业提供食品厂净化工程、电子厂无尘车间、化装品无尘车间、超净车间、洁净工程、洁净室、实验室、制药GMP无菌厂房、***洁净***室、光电净化厂房等从十级至十万级空气净化系统工程的设计、制造、安装、调试、检测等综合服务。

十万级无尘车间洁净度标准的制定

以前有关***都各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：

一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名，光电类无尘车间，这种命名方法以美国FS-209A～E版为代表，其规定粒径为0.5μm，以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名，光电类无尘车间，如标准中的 100级，表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名，即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个，（我们平时使用的是国际单位，即通常所指的是每立方米的空气中所含≥0.5μm粒径的粒子数量，因为1立方米≈35.2立方英尺，所以我们看到标准中100级对应 ≥0.5μm粒径的粒子数量不是100个，而是3520个，就是这个道理）。

二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示，按指数n命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为0.1μm，无尘车间，以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度（采用国标单位制）10n pc/m3命名为n级，如该标准2级，其表示≥0.1μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3，即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。

现在国际标准ISO14644-1已发布实施，美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。

净化车间的静电式净化方法作业原理是选用高压静电吸附除尘作业原理。静电式是选用高压静电吸附除尘的作业原理。静电场中的阴极线在高压静电的效果下，电晕层中发生很多的负离子，负离子在静电场的效果下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘经过电场时，粉尘遭到负离子的磕碰带上电荷，带上电荷后的粉尘相同遭到静电场的效果，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后开释电荷。 缺陷：可去除飘尘（不能去除***气体），效能比机械式低、慢，并且易发生臭氧，此机型被美国商场评为较差净化器。

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在大规模集成电路出产的光刻***工艺中，光电类无尘车间，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，一起要求湿度值一般较低，因为人出汗今后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超越25度，湿度过高发生的问题更多。相对湿度超越55%时，净化空间的温湿度冷却水管壁上会结露，假如发生在精细设备或电路中，就会引起各种事端。