溅射原理
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1.1 溅射定义
就像往平静的湖水里投入石子会溅起水花一样，用高速离子轰击固体表面使固体中近表面的原子（或分子）从固体表面逸出，这种现象称为溅射现象。
1.2 溅射的基本原理
溅射是指具有足够高能量的粒子轰击固体表面使其中的原子发射出来。早期人们认为这一现象源于靶材的局部加热。但是不久人们发现溅射与蒸发有本质区别，并逐渐认识到溅射是轰击粒子与靶粒子之间动量传递的结果。
【磁控溅射镀膜设备】行业前景怎样
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那麼磁控溅射镀膜设备可以运用于哪一方面呢？在硬塑镀层中的运用：例如切削刀具、模具和耐磨损抗腐蚀等零配件。在安全防护镀层中的运用：飞机发动机的叶子、小车厚钢板、散热器等。在光学薄膜行业中的运用：增透膜、高原反应膜、截至滤光片、防伪标识膜等。在建筑玻璃层面的运用：太阳操纵膜、低辐射夹层玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。在太阳能利用应用领域：太阳能发电集热器、太阳电池等。在集成电路芯片生产制造中的运用：塑料薄膜变阻器、薄膜电容器、塑料薄膜温度感应器等。在信息内容显示信息应用领域：液晶显示屏、低温等离子屏等。在信息内容储存应用领域：磁信息内容储存、磁光信息内容储存等。在装饰设计装饰品上的运用：手机套、表带、眼镜框、五金配件、装饰品等镀一层薄薄的膜。
磁控溅射中靶zhong毒是怎么回事，一般的影响因素是什么？
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靶zhong毒的物理解释
（1）一般情况下，金属化合物的二次电子发射系数比金属的高，靶zhong毒后，靶材表面都是金属化合物，在受到离子轰击之后，释放的二次电子数量增加，提高了空间的导通能力，降低了等离子体阻抗，导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间，当发生靶zhong毒时，溅射电压会显著降低。（2）金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样，一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高，磁控溅射镀膜机，所以靶zhong毒后溅射速率低。（3）反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低，所以反应气体比例增加后，综合溅射速率降低。
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