





感应耦合等离子体刻蚀机的结构四
真空系统真空系统有两套,感应耦合等离子体刻蚀机,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构一
预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度,不受外界环境(如:粉尘、水汽)的影响,将***性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
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供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
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