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⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
这是真空泵油的的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
罗茨转子由0°到360°的抽气过程。在0°位置时（图a），进排气道关闭，吸气腔与排气腔沟通，泵腔内压力均衡相等。当两个转子旋转到50°时（图b），形成负压腔，进气道打开，正压腔压力逐渐提高。工作过程中，此位置是转子正好处于换向泵腔压力平衡的瞬间，转子从该位置再转过一定角度，则转子开始密封分割为吸气腔与压缩排气腔两部分，此时开始做功。此位置进气口打开，随着转子的继续旋转负压腔容积逐渐增大开始吸气，排气腔容积逐渐减小，由于排气口尚未打开，因此气体被压缩，压缩量随排气口上线位置的变化而变化。当转子旋转到155°时，此时负压腔继续进气，排气道打开，开始排气。此位置时泵的吸气做功继续进行，排气口开始打开，被压缩的气体快速排入下一级泵腔。当转子旋转到312°时，进排气口关闭。此位置转子做功以完成一个周期，此时泵腔内压力逐渐***均衡状态。（图d）此位置又回到初始位置，随着泵转子的连续旋转，吸气和排气过程循环进行，实现了泵的连续抽气做功，实现了抽真空的目的。转子没转一周，吸气和排气各进行一次。