油式旋片真空泵机构与工作原理
油式旋片真空泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。在泵腔内偏心地安装带有旋片的转子，转子槽中装有旋片。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。这里说明一点：一般情况油环真空泵初次使用100h后更换油，以后每500~2000工作小时更换一次。当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气口排出[4]。旋转时将真空泵油抛向泵壳形成于泵壳同心的油环，油环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。图2 所示为油式旋片泵的工作原理示意图，泵其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。
油式旋片真空泵使用与维护
油式旋片真空泵使用
和所有转动设备一样，油式旋片真空泵开机前需要在电机风叶处手动盘车，检查泵内是否有***卡住。之后加相应型号真空泵油到油位且在使用一周内或工作100 h 换油，因为新配件可能会产生杂质影响抽真空效果。禁止在泵进口放有容易被吸入泵内的东西，泵出口如有手动阀门一定要处于开启状态。组成●YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。然后点动，检查转向是否正确再继续运转。进口管线尽可能短易于保持密封性，以免泄漏减少真空度。
油式旋片真空泵维护
油式旋片真空泵工作介质为真空泵油，真空泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中，所抽物料里的杂质和水非常容易通过抽气进入真空泵油中，这种情况会严重影响真空泵工况甚至烧泵。所以，需要经常对真空泵油进行取样观察。笔者方法如下：在真空泵正常运转后刚停机时(但注意高温高压伤人)油温较高时，用透明瓶装起来，在常温时环境放置24 h 后，观察有没：颗粒沉淀物?有没水沉下来?色彩暗浅?具体用以下实例解释。102Pa，中真空102~10-1Pa，高真空10-1~10-5Pa和超高真空lt。
图3 中1#油样是未使用过的新油，这里做为参考比较。2#油样深黑色并且根本看不出有没沉淀物，那一定要立刻更换。3#油样虽然色彩比1#油样深了点,但真空泵运行都会有少量杂质但属于正常范围，可以放心使用。4#油样比3#暗度加深(证明杂质比3#较多)此时要注意观察底部是否有水或颗粒之类，如有就应更换；如果即没颗粒又没水，那仍可以短期保用，但要密切注意变化色彩再深就应该更换。这里说明一点：一般情况油环真空泵初次使用100 h 后更换油，以后每500~2000 工作小时更换一次。●低噪音、低振动●优良的耐腐蚀性●多种自主功能选购件用途◆活性气体◆非活性气体◆用于产生粉尘工艺中的排气◆作为前级泵使用◆冷冻干燥等水蒸气排气。但需根据具体应用环境及操作介质而定。换油时应先将油箱内油放完，注入少量新油开机半分钟后再将油放完，***后注入到油位。 除了这种直接对真空泵油进行检查更换外，在日常维护中还需要定期对进气口过滤器滤芯，油雾分离滤芯，内置粉尘滤芯和叶片进行检查清理，必要时更换。这样也可以有效减少使用过程中对真空泵油的污染。
爱发科真空技术有限公司自二零零三年在中国区成立并于二零零五年开始营业以来，始终秉承扎根本土、服务当地的理念，将日本***的技术研发优势与中国制造的本土优势充分结合，致力于为客户提供高性价比的设备和优质的服务。【ULVAC爱发科VDN401油旋片式真空泵】适用范围：：1、镀膜、溅射、离子镀2、气体置换、充填、真空隔热3、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉4、真空枯燥、冷冻枯燥、真空脱气5、检漏设备、真空成形、真空铸造6、真***装、真空吸附、搬送、其它。公司经过八年的发展，已在中国半导体和电子器件设备制造行业牢牢占据一席之地，得到了业内用户的广泛认可和爱戴，在此深表感谢！
随着世界经济中心由美国向中国转移，中国的半导体、LED、FPD、太阳电池等行业也在这样的大背景下得到持续迅猛的发展。爱发科集团始终重视中国市场，也坚信爱发科集团要取得发展，离不开在中国的各项业务。爱发科ULVOILR-7真空泵油20升原装进口爱发科真空泵油，日本ULVAC/真空泵油R-7、R-4、爱发科扩散泵油D-11。因此，集团公司对于中国工厂的发展所提供的支持是不遗余力的。随着集团公司对中国公司的***不断追加、工厂面积的持续扩展、人才的陆续引进、市场规模的逐渐提升，苏州工厂正朝着真空设备制造领域的目标不断迈进。
爱发科真空技术有限公司今后仍将依托中国客户，除了继续在电子、半导体制造设备方面扩大设备种类和提高生产台数，更会从2012年开始，在世界上将大型平板液晶显示器(FPD)制造设备、太阳能电池制造设备引入到中国进行生产。爱发科真空泵用途多为真空蒸发镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空离子镀、光学镀膜设备。我们将继续致力于为客户提供满意的产品，以优异的品质及良好的售前***服务，为用户创造价值，为中国高科技产业的发展以及经济社会的发展尽自己的绵薄之力。
爱发科罗茨真空泵
不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。
(1)蒸汽流泵前级配置
类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的z大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的z大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：
Sqgt; pg .S/ pn或Qmax /pn
式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型;
pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;
Qmax ——所能排出的z大气体量，Pa .L/s;
pg ——主泵允许的z高工作压力，Pa;
S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。
在选择前级泵时，应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的，但正常使用的泵都是在低于大气压的条件下运转，使泵的抽速下降了，因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线，可参考经验公式
Sp =(1.5～3) S’p
式中，Sp——实际选用的前级泵的抽速;
S’p——计算要求的前级泵抽速。
