净化工程——无尘车间
所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。室内生产环境不仅关系到从业人员生产活动中的健康和舒适性，而且关系到生产效率、产品质量，乃至生产过程能否进行的重要问题。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。(2)局部照明这是指为增加某一zhi定地点（如工作点）的照度而设置的照明。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。
器械净化工程建设中需考虑从以下问题：
1. 器械包装车间洁净室工程所需要的净化材料；
2. 器械厂房洁净室及器械包装车间洁净室工程的设计、安装、调试、维护等综合服务；
3. 器械包装车间洁净室工程空调净化部分
温度和相对湿度
无菌器械在无特殊规定时，通常要求温度在***标准检测Standard and Testing18~28 C，湿度在 45%~65%，企业一般都可以控制在要求内。如在动态监测中发现达不到要求，可能是室内有产热大的仪器设备。
