




质量流量控制器简介
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使用范围: 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。
特点:流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。
质量流量计简介
质量流量:
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如:毫升/分钟即 mL/min (SCCM行业标准), 升/分钟即 L/min (SLM行业标准). 标准状态为:气体温度—— 273.15K (0℃); 气压——101325Pa(1atm)
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质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
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