预真空压力蒸汽灭菌器
（1）净化工程灭菌原理：利用机械抽真空的方法，使灭菌柜室内形成负压，蒸汽得以迅速穿透到物品内部进行灭菌。蒸汽压力达205.8kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃或以上，开始灭菌，到达灭菌时间后，抽真空使灭菌物品迅速干燥。根据一次性或多次抽真空的不同，分为预真空和脉动真空二种，后者因多次抽真空，空气排除更彻底，效果更可靠。
（2）灭菌方法：
1）预真空压力蒸汽灭菌方法：预真空压力蒸汽灭菌整个过程约需25min。
①将待灭菌的物品放入灭菌柜内，关好柜门；
②将蒸汽通入夹层，使压力达107.8kPa(1.1kg/cm2)，预热4min；
③启动真空泵，抽除柜室内空气使压力达2.0 kPa～2.7 kPa(排除柜室内空气98%左右)；
④停止抽气，向柜室内输入饱和蒸汽，使柜内压力达205.8 kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃，维持灭菌时间4min；
⑤停止输入蒸汽，再次抽真空使压力达8.0kPa，使灭菌物品迅速干燥；
⑥通入过滤后的洁净干燥空气，使灭菌室压力回复为零，温度降至60℃以下，即可开门取出物品。
尘室洁净室净化的几种形式
净化工程具体工艺对温度的要求，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小；要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
一、洁净室车间整体净化：
可分为层流型和乱流型。层流洁净室是指空气由一侧全1面地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细1菌不会向四周扩散而被平推出室外或者经过回风口过滤器过滤处理，而达到好的除1菌效果。乱流洁净室是指空气由洁净室顶部经过组合式空调机组初中效过滤器过滤，加压由经过保温的风管分散送到各个房间，***后经过高1效送风口送入洁净室内，以达到净化的效果。
高1效过滤器除1菌技术：空气要达到洁净室设计洁净度主要靠高1效或超高1效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。
二、洁净室室局部高洁净度净化
1、百级层流罩：百级层流罩比较常用语***、制药、实验室研究行业局部空气净化装置。2、百级超净工作台：采用水平或垂直层流方式净化箱体内的空气，可使操作台内净化达到很高1级别。
3、静电吸附除1菌净化技术：静电吸附除1菌是利用工业电除尘的原理，采用细线放电极与蜂巢状铝箱收集极形成级线装置；采用镜象力荷电吸附作用。
4、负离子净化技术：负离子是一种带负电的化学基团，能发生可逆性变化，存在时间极短，本身并无杀灭微生物的能力，主要是靠带电离子与空气中的微粒特别是微生物颗粒结合，形成多个颗粒凝聚变大从而迅速沉降，使空气达到净化的目的。
无尘洁净室技术应用？
无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：
(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;
(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。
