氦气质谱检漏的用方法
氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。真空法检测灵敏度高，能够准确***，能完成大容器或杂乱结构产品的检漏。氦气质谱检漏的用方法氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。可是只能完成一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的实在走漏状况。
选用真空法检漏时，需求使用辅佐真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，选用氦罩或喷吹的办法在被检产品外外表施氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会经过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，然后完成被检产品走漏量丈量。依照施漏气体办法的不同，又能够将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其间真空喷吹法选用喷枪的方式向被检产品外外表喷吹氦气，能够完成漏孔的准确***； 真空氦罩法选用有必定密闭功能的氦罩将被检产品悉数罩起来，在罩内充溢必定浓度的氦气，能够完成被检产品总漏率的丈量。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管。
特种气体的介绍
特种气体用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
电子特种气体的介绍
电子特种气体和半导体、平板显示、传感器等电子元器件制造业息息相关，与湿电子***一样是电子元器件的上游原材料之一。其广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺中，与生产设备配套使用。但我们在实际的施工中,大宗特气项目很少,一般都是简单系统和常规系统,为了节约成本和资金,在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工,除作业人员和检察人员外,应禁止无关人员出入。特别是在超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过450道，其中大约要使用50种不同种类的电子气体。
