排烟系统在洁净厂房内的设置
随着现代工业的发展，对实验、生产和研究的环境要求越来越高，空气调节技术的内容也越来越广泛，其中对于空气净化的要求越来越多。1μm粒子要求控制的洁净室，不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。洁净室对空气中悬浮微粒数量控制要求严格，洁净室被要求尽量做到密闭，以保证有效地阻止室外污染***室内（或有效地防止室内污染逸至室外）。洁净室要求房间密闭，不可能再采用一般厂房常用的开窗方式进行排烟，其排烟系统需要可靠的保证。
现行《洁净厂房设计规范》对排烟的规定是要在疏散走道内设机械排烟系统，现行的《建筑设计防火规范》规定丙类厂房中面积大于300m2且可燃物较多的或经常有人停留的房间需设置排烟系统，这些要求在现行的洁净室设计中均能得到良好实施。
洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，***近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的***处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。
净化工程施工技术交底方案
一、 现场用水用电
施工用水用电由业主提供，线管布置服从业主的总体安排。
二、 现场管理
施工区域内设专门堆放垃圾区域，定期清理、清扫，保持现场整洁，卫生。现场临时的设置与管理严格按照有关规定执行。
净化工程施工
三、 设备安装施工
● 安装施工程序：
1基础验收
2设备验收
3设备安装找正
4设备找平找正
5设备清洗检查
6设备试车
● 设备安装要点
1设备的开箱检查：根据设备清单，说明书，合格证，检验记录和必要的装配图和有关型文件核对型号，规格以及全部零部件。表面检查无缺损和锈蚀情况
2设备的基础尺寸，位置等应符合图纸要求。
3平面位置安装基准线对基础实际轴线允许偏差不得超过图纸要求。
4安装时，设备的连接管口与其开口的地方的封闭不能拆掉，以免杂物进入到设备内部。
5检查设备不应有缺件，损坏和锈蚀现象。
6设备的单车试车
试车前，电的仪器及保护连锁应具备使用条件，水冷系统应符合要求。
试车中，***关键的是按照设计要求检查温度，压力，震动三个***主要的安装质量标准，单机试车中必须达到试车要求。
试车结束后应及时完成下列工作：断开动力电源，拆除试车的临时设备，整理试车运转记录。