无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。
空调净化工程***关注节能空调在净化工程中的选择至关重要，因为在设计与施工中空调的耗能量***1大，所以我们需关注节能措施。在设计中，区域的以及系统的划分，送风量的计算，温度的 相对稳定，洁净等级和换风次数的确定，风管的保温，以及法兰的链接是否完整、空调箱、冷水机组、风机等设备的选择都与能耗量息息相关，这些细节都是我们再设计与施工中必须要考虑的细节。 风管的性能重要 在净化工程净化空调系统中，1风管的性能很重要，一定要严密性好、不发尘、不积尘、不污染、耐潮、耐腐蚀。在运行中，一般风管的局部阻力高于风管的沿程阻 力，这点需注意，遇到这种情况需要改善。 电话和消防设备不能少净化工程洁净厂房安装对讲电话，不但可以方便工作人员的相互交流，还可以减少工作人员在洁净区内相互走动，减少灰尘，同时还应设置火灾报警系统，防止火灾不易被发现而造成的重大损失。
降低洁净室的热（冷）负荷的技术措施
①根据产品生产工艺要求，确定合适的洁净室内空气洁净度等级和温度、相对湿度参数，在满足生产工艺的前提下，从节约能源的角度出发，按不同工序房}间的不同要求确定空气洁净度等级、温度、相对湿度参数，可能就低时尽可能采用较低的取值。 洁净厂房设计时，应与业主、产品生产工艺技术提供者充分交流，反复讨论比较，合理进行洁净分区规划，尽可能地减少洁净室面积或减少高2级别类洁净室的面积，这是降低洁净厂房的热（冷）负荷的有效途径。
