质量流量计简介
质量流量：
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm)
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流量控制器的工作原理
流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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质量流量计概述
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主要特点
1. 适用多种介质
2. 测量准确度高
3. 无直管段要求
4. 可靠性好
5. 维修率低
6. 具有核心处理器
主要分类
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另质量流量计一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
