元素氟和硫直接反应法。
直接电解法 将硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用***与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化四氟hua硫，该法缺点是收率过低。
热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。氟hua钴法 将硫磺或其他硫化物在三fu化钴和二氯hua钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。***与氟燃烧法。联产法 氯氟代***和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。
六氟化硫气体泄漏检测方法
目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验→SF6气体→六氟化硫气体泄漏检验。
具体过程为：在GIS经真空检漏并静止SF6气体5h后，用塑料薄膜在法兰接口等处包扎，再过24h后进行检测，如果有一处薄膜内SF6气体的浓度大于30ppm，则该气室漏气率不合格。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。
六氟化硫气体泄漏在线监控报警系统是检测现场SF6气体浓度、氧气含量及温湿度等环境数据，并通过大量数据分析处理做出控制以及告警的智能气体报警系统。
六氟化硫气体泄漏检测技术
SF6气体泄漏检测主要采用了电化学技术、电i击穿技术和红外光谱吸收技术。
1、电化学技术：电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。
2、电i击穿技术：电i击穿技术是从SF6气体在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。
3、红外光谱吸收技术：红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。
