进行显影的方式有很多种,广泛使用的方法是喷洒方法。这种显影方式可以分为三个阶段:硅片被置于旋转台上,并且在硅片表面上喷洒显影液;然后硅片将在静止的状态下进行显影;显影完成后,需要经过漂洗,之后再烘干。
显影后留下的光刻胶图形将在后续的刻蚀和离子注入工艺中作为掩模,因此,显影是一步重要的工艺。严格的说,在显影时***区和非***区的光刻胶都有不同程度的溶解。***区与非***区的光刻胶溶解速度反差越大,显影后得到的图形对比度越高。
这个项目是作为对市面上常规显影液的整理,也是作为自己长期冲卷对显影的一个回顾和记录。作为长期海外生活的胶片玩家,可以持续购入不同品牌的***,几个月的时间收集了不少黑白显影剂。关于显影的学问太多太多了,但国内这方面的讨论一直很少,我这里抛砖引玉,结合收集的资料,实践和理解,简单介绍一下民用级(能够买得到)的显影液的相关内容。其中-COONa是亲水***,溶于水,从干膜上剥离下来,使整个板面显露出需电镀的图形,然后进行电镀。-COONa是干膜成份,Na 是显影溶液的主要成份,(Na2CO33%加适量的消泡剂)。如显影不准,使图形导线部分有余胶,会造成局部镀不上铜,形成废次品,这是显影段容易出现的质量问题。
***时间过长。当***过度时,紫外光透过照相底片上透明部分并产生折射、衍射现象,照射到照相底片不透明部分下的干膜处,使本来不应该发生光聚合反应的该部分干膜,被部分***后发生聚合反应,显影时就会产生余胶和线条过细的现象。因此,适当的控制***时间是控制显影效果的重要条件。
