显影剂总是溶解在碱性溶液中以形成其钠盐,该钠盐在水中离子化。在存在这种离子化显影剂的情况下,会在潜像斑点周围引起级联效应,其中附近的卤化银分子被离子化并分解为它们的组分,使更多的银离子与电子结合,释放出xiu化物,氯离子和碘化物。所有暴露的卤化银晶体都还原为纯银。还原后,银的单位称为颗粒/Grain。有时显影反应变得特别剧烈,以至于延续到未***的卤化银晶体中。这就是所谓的蔓延式显影,产生通常称为灰雾的现象。
感光、显影感光(爆光)是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成,感光(爆光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光(爆光)完成后就要进行下一步工作:显影;显影的目的是通过显影药将未爆光的地方冲走,经过爆光的地方固化,形成蚀刻图案,经过显影后质检员对产品进行检查,把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来,良品则进入下一道工序:封油。

感光、显影感光(爆光)是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成,感光(爆光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光(爆光)完成后就要进行下一步工作:显影;显影的目的是通过显影药将未爆光的地方冲走,经过爆光的地方固化,形成蚀刻图案,经过显影后质检员对产品进行检查,把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来,良品则进入下一道工序:封油。
现有的***机对基板的主体部分进行***,但是基板的边缘,特别是基板相对的两长边(在光阻涂布的起始端与末端位置)较容易形成光阻残留,从而导致后段部件所需要用到的对位图案被遮住,造成基板报废。
基板由主体***机10进行主体***,然后由传送装置40,例如机械手臂,将基板传送至边缘***装置20,完成边缘***后,再由传送装置40将基板传送至基板输送机构50,由此进入显影装置30。
