真空油又叫做真空泵润滑油，如果真空泵压缩室被比喻成真空泵心脏的话，那真空油就是真空泵的血液，它的作用有以下几点：
1.润滑减磨：当真空泵启动后，转子和腔体之间、主轴和端板之间、旋片和转子等均存在着快速的相对摩擦，真空油的一大作用就是通过零件的摩擦，在两个摩擦表面间形成油膜，油膜会将两个摩擦的零件表面隔开，从而达到减少磨损的目的。
2.清洗清洁：真空油的另一个作用就是通过循环流动，能够将真空泵零件上的附生成物、油泥、金属磨损颗粒等脏东西带回油底壳，达到清洗清洁的效果。
真空泵维修总装前真空泵壳止口间隙测量，目的是检查两泵壳之间的同心度。当液体中含有固体颗粒时，就会因磨损引起轴向和径向的间隙增大而降低泵的性能或导致旋涡泵不能工作。检查导叶轮冲刷磨损状况，测量导叶轮与泵壳的径向间隙和轴向间隙，目的是检查泵壳压紧后，导叶的密封及预紧力。拆下轴承盖，用压铅丝法测记轴承紧力及轴承间隙，然后拆下两端轴承及托架。拆除高压端尾盖，测量平衡盘的窜动量，将百分表垂直装在轴的端面，沿轴承向来回撬动轴，到撬动不动时读数，来回的读数差，即为平衡盘的窜动量。
拆下高压侧轴套螺帽，取出轴套及平衡盘，用一套装在平衡盘位置，再将轴套与其螺帽装复，用上述方法测记转子总窜动量。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解。再拆除低压端尾盖，进水段泵壳，轴套及 拉出首级叶轮后，拆下穿杆螺栓，按从高压端侧到低压侧的顺序，依次拆下各级泵段，叶轮及轴套等。清除叶轮内外表面，泵壳结合面，密封环，导叶轮和轴套等处 的水垢及铁锈，并檫干净。
液环真空泵通常将水用作工作介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。将新油从泵的吸气口倒入，并用手缓慢地转动泵轴，清扫泵腔并将残油排尽，须重复清洗剂几次。叶片的旋转运动所产生的离心力使泵腔内的液体形成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。由于叶轮偏置，空间增大，生产气体通过吸入槽吸入；随着叶轮继续旋转，空间减小，从而使气体被压缩并通过排出槽排出。真空泵可采用水循环的开环或闭环进行操作。而被压缩介质经风机排放之前，它也将由排气处理后排出。驱动设备由电机及三角皮带构成。三角皮带的驱动方式可使风机转速得到精que的调节以配合生产工艺。实际上，Tyr 罗茨风机的设计在真空和正压版本上几乎是一样的。
