






Edward爱德华EH1200罗茨泵维修*** 漏气,有点卡死
EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵,这款泵是比较大的,罗茨泵不能单独使用,一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号:EH250,EH500,EH1200, EH2600,EH4200
提供进口罗茨泵维修***,维修品牌包括:莱宝、爱德华、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等进口品牌;罗茨泵维修提供莱宝WSU系列、WAU系列和爱德华EH系列等;
爱德华罗茨泵维修因为结构不一样,所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样,出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是
1.发热、
2.卡死、
3.抽气量不足、
4.性能不稳定、
5.噪音大等故障;
温馨提示:如果爱德华EH1200罗茨泵漏气,有点卡死,记得致电***的罗茨真空泵维修厂家,不可擅自处理,以免引起其他不良的故障反应。
适用于研发实验室的实验室真空系统我们提供丰富多样的真空产品, 以应对当今研发实验室所面临的种种挑战。 通过与各主要科学仪器制造商、大学院校和主要研究机构的 通力合作,我们能够深入了解研究过程以及真空技术 所发挥的作用。我们专注于真空领域的技术进展,并 ***于研发,因此能够开发满足您的特定应用 要求的创新产品。气体减排选择每个CVD制程都需要某种形式的气体减排设备,以便可以将***和***的制程副产品安全地转换为可任意处理的元素。 单一供应商:
广泛的产品组合齐聚一堂基于技术的解决方案:
从 UHV(超高真空)到大气压安心:
经验丰富,可帮助您选择解决方案
金属电镀
如今的某些 制程使用金属有机前体物,当这些金属有机前体物通过舱室时, 它们会产生一些副产品,极有可能将其金属物沉积 到泵表面上。对于这些应用,通常使用低温泵以便确保 长的维修间隔。
气体减排选择
每个 CVD 制程都需要某种形式的气体减排 设备,以便可以将***和***的制程副产品安全地 转换为可任意处理的元素。我们对我们的燃料燃烧 废气管理设备倍感骄傲,因为它们能够有效地 将副产品强制重组为安全的化合物。有了多入口 燃料燃烧能力,当您不需要对制程废气进行除害处理时, 您可以通过关闭主燃烧器来快速部署环保模式。爱德华真空泵油Edwa***提供采用新工艺生产的Ultragrade15、19、20、70泵油。
集成式系统和生产层解决方案
仅仅有泵和气体减排设备,您 仍然不能随时运转您的制程。您将需要连接泵排气管道、 连接管道加热器(如果需要)、铺设供水管道、吹扫管道和 电气线路,然后让所有控制信号准备就绪。您还 必须考虑双壳体、气体泄漏检测以及在进行工具维护后 如何进行泄漏检查。所有这些事宜都将占用您的 设计时间和资金。概述Edwa***是在一些***严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们了解问题所在,因此开发了集成的、 特定于制程的解决方案。
我们的集成式系统已针对大多数半导体 CVD 制程进行预设计。排气加热器针对适当温度 进行设置以便大程度地降低成本和延长正常运行时间。我们 在需要的位置安装泄漏检查端口和闸阀。我们可以 在装置内安装有***体传感器并密封整个系统,*** 重要的是,您只需要提供每种所需的水电设施。7lbh-1重量105kg/231lb电机保护额定值IP44或IP54电机功率50Hz2。我们 会根据需要分配吹扫、水、电和控制信号并打造随时可 投入使用的系统。