1、RTO蓄热式焚化。RTO蓄热式焚化就是把有机废气加热到数百度，将有机废气中的VOC氧化生成CO2和H2O，从而达到净化废气并回收释出热量的目的，因此，这种有机废气治理方案可以达到环保和节能的双重目，能够用于中高浓度挥发性有机废气的处理当中2、催化燃烧。催化燃烧这种有机废气治理方案是近几年发展起来的新技术，该方案对有机废气的净化率高且适应性很强，而且，在净化的时候所需要的能耗非常低，净化治理过程中也不存在二次污染的问题，可处理的有机物质种类包括苯类、酮类、酯类、酚类、醛类、醇类、醚类和烃类等等。
废气治理低温等离子体光催化协同技术具有其他净化技术不可比的优点，低温等离子体法处理 VOC 的技术与传统方法相比具有很多优点：一是，可在常温常压下操作;二是，有机化合物终的产物为 CO2，CO，H2O。若有机物是氯代物，则产物中还应加上氯化物，而无中间产物降低了，有机物的毒性，同时避免了其他方法中的后期处理问题;三是，锅炉高温废气处理，运行费用低;四是;VOC的去除率高，对 VOC的适应性运行管理比较方便。
针对电子行业的污染处理工艺，一般采用活性炭吸附 催化燃烧。活性炭吸附净化***，设备结构简单，***较小。但活性炭也有着明显的缺点，活性炭使用一定时期之后需要进行更换，增加了运行成本。同时也需要人工进行装卸、运输、活性炭更换等操作，高温废气处理，隐性增加了运行费用。吸附-催化燃烧是世面比较流行的一种新工艺，采用了新型的吸附材料。这种材料外形类似蜂窝状，高温废气处理设备，前段将废气中的***物质进行吸附，待饱和后经过热空气脱附，再引入催化燃烧工序。同时产生的热量又返回到脱附流程进行循环使用，不仅节省了能源，同时也形成了良好的循环系统，提高净化效率。
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