能量色散X荧光光谱仪定义及原理
X射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。试样受X射线照射后，其中各元素原子的内壳层（K，测厚仪，L或M层）电子被激发逐出原子而引起电子跃迁，镀层测试仪，并发射出该元素的特征X射线荧光。每一种元素都有其特定波长的特征X射线。能散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）利用荧光X射线具有不同能量的特点，由探测器本身的能量分辨本领来分辨探测到的X射线。
EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜使用，可以对样品进行微区成分分析。
常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，膜厚测试仪，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。
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X射线的产生 X射线波长略大于0.5纳米的被称作软X射线。波长短于0.1纳米的叫做硬X射线。
产生X射线的***简单方法是用加速后的电子撞击金属靶。撞击过程中，电子突然减速，其损失的动能(其中的1%)会以光子形式放出，形成***光谱的连续部分，称之为制动辐射。通过加大加速电压，电子携带的能量增大，则有可能将金属原子的内层电子撞出。于是内层形成空穴，X射线测厚仪，外层电子跃迁回内层填补空穴，同时放出波长在0.1纳米左右的光子。由于外层电子跃迁放出的能量是量子化的，所以放出的光子的波长也集中在某些部分，形成了***谱中的特征线，此称为特性辐射。
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