电子气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，标准气体，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精准控制流量，在气源端一般会考虑配置精度的压力变送器，标准气体多少钱一瓶，电子秤，温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。对于大流量的不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑气体经过调压阀减压后的焦耳汤普逊效应。
什么是电子气体
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
氮气、高纯氮气使用操作时要注意什么：
进行吹扫、置换的设备、管道系统必须采取可靠的隔离。所有与吹扫无关的部位、系统要关闭或加盲板隔离，相关的操作严格按盲板示意图执行，同时附上盲板隔离检查汇总记录。置换时要逐个打开所有的排污阀或放空阀泄压和排放余液，标准气体公司，调节阀的前后阀旁通也应打开。
?置换应根据氮气和被置换介质密度的不同，标准气体生产厂家，选择氮气进入点和被置换介质的排放点，确定取样分析部位，以免遗漏，防止出现死角。在规定的采样点测量氧含量、烃类气体含量，采样点应选在氮气置换接气口的下游(终点和易形成死角的部位附近)。氮气置换至氧含量小于0.5%后，泄压至微正压状态保压。
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