臭氧的化学性质很不稳定，在常温下会慢慢分解 ，含量为 1 %以下的臭氧，在常温常态常压的空气中分解半衰期为20~30分钟左右。随着温度的升高，分解速度加快，温度超过 100℃ 时，分解非常剧烈，达到 270℃高温时，可立即转化为氧气。臭氧在水中的分解速度比空气中快。在含有杂质的水溶液中臭氧迅速***到形成它的氧气。由于臭氧脱硝工艺在湿法脱硫之前，反应温度通常在100℃以上，且在脱硫塔还会被浆液再次洗涤，氨水脱硝多少钱，未与NO充分反应的臭氧会在后续的工艺流程中分解为氧气，因此从烟囱排入大气的臭氧几乎可以忽略。
然而，由于烟道氧含量的增加对污染物浓度折算产生小幅影响，值得注意。建议臭氧脱硝工艺采用***的喷射混合技术，氨水脱硝批发，尽可能提高臭氧利用率，提升混合强度，从而控制臭氧逃逸。
目前烟气臭氧脱硝技术可分为干法和湿法两大类，其中干法脱硝中的选择性催化还原（SCR）和选择性非催化还原（SNCR）技术是市场应用***广（约占60%烟气脱硝市场）、技术***成熟的脱硝技术，其原理是向烟气中喷氨或尿素等含有NH3自由基的还原剂，在高温下直接（或催化剂的协同下）与烟气中的NOx发生氧化还原反应，把NOx还原成氮气和水。
但该技术也有其巨大的局限性，由于化学反应需要在高温下进行，而对于中小型锅炉以及工业锅炉来说，排烟温度远不能达到化学反应所需要的高温，因此低温烟气脱硝技术就成为市场的必须。
采用臭氧脱硝技术可得到较高的NOx脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，氨水脱硝，并且可在不同的NOx浓度和NO、NO2的比例下保持***率；因为未与NOx反应的O3会在洗涤器内被除去，所以不存在类似SCR中O3的泄漏问题；除以上优点外，该技术应用中SO2和CO的存在不影响NOx的去除，而臭氧脱硝也不影响其他污染物控制技术。
将低温氧化技术与臭氧发生系统结合形成一体化的脱硫脱硝系统，可用于石油jing炼厂中加热器、锅炉等的废气治理。经氧化后生成的N2O5通过洗涤器很容易与烟气中水分发生反应生成HNO3，然后再同洗涤剂生成盐类，***后通过洗涤清理排出系统外。
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