




磁电阻/超导复合式磁传感器作为一种新型的高灵敏度磁探测器, 其探测精度目前已接近SQUID器件并已达到fT 量级。同时这类传感器又具有体积小、结构简单、工艺成熟、便于大规模生产等优势,使其在未来发展潜力巨大。就该复合式磁传感器而言,进一步提升器件的探测精度是其未来研究发展的主要方向。

一方面,颜色传感器检测rgb,继续减小超导磁场放大器的狭窄区域宽度至1 μm以下,同时增大磁场放大器的有效面积都可以将磁场放大倍数继续提升至几千甚至上万倍,但是同时会对传感器的工作区间以及小型化造成影响。另一方面,单片机颜色传感器的控制电路,使用灵敏度更高的磁电阻传感器件(TMR、巨磁阻抗器件(GMI)等[35]),将有望使得该复合式传感器的磁场探测精度达到1fT,甚至0.1 fT 的量级。
磁电阻/超导复合式磁传感器原理
磁电阻/超导复合式磁传感器早由D. Robbes等人提出,该类传感器主要由磁电阻传感器和超导磁场放大器构成。其中超导磁场放大器是一个由超导薄膜构成的闭合环路。超导环路中有一段宽度狭窄区域。磁电阻传感器位于超导磁场放大器环路狭窄区域上方并由绝缘层分隔。
对于超导磁场放大器而言,其磁场放大倍数主要由放大器的尺寸和狭窄区域宽度决定。增大超导磁场放大器的尺寸,以及减小狭窄区域的宽度,都会显著增加超导磁场放大器的磁场放大倍数。例如,颜色传感器,理论计算表明,当超导磁场放大器直径达到25 mm,狭窄区域宽度为2 μm时,磁场放大倍数将达到3500 倍,而相应的磁电阻/超导复合式磁传感器的磁场探测能力将有望达到1 f,甚至更低的磁场。

磁电阻/超导复合式磁传感器的性能不仅取决于超导磁场放大器的磁场放大能力,同时也取决于磁电阻传感器的灵敏度、噪声等特性。目前在磁电阻传感器领域性能为优异、同时有应用价值及潜力的当属GMR和TMR磁传感器。下面将分别对GMR/超导复合式磁传感器的发展及本课题组在TMR/超导复合式磁传感器制备、测试方面开展的工作进行介绍。
IC 传感器可在-55°C至 150°C的温度范围内工作 -- 精选的几种IC传感器工作温度可高达 200°C。有各种类型的集成式IC传感器,不过四种常见的集成式IC传感器当属模拟输出器件、数字接口器件、远 程温度传感器以及那些具有温控器功能的集成式IC传感器(温度开关)。模拟输出器件(一般是电压输出,但有些也具有电流输出)在其需要ADC来对输出信号 进行数字化处理时像无源解决方案。数字接口器件常使用两线接口(I2C或PMBus),并具有内置的ADC。

除了也包括一个局部温度传感器外,颜色传感器发展历史,远程温度传感器还具有一路或多路输入以便监测远程二极管温度 -- 它们常被置于高度集成的数字IC(例如,处理器或现场可编程门阵列【FPGA】)中。当达到温度阈值时,温控器可提供简单的警报。
使用IC传感器有许多好处,包括:功耗低;可提供小型封装产品(有些尺寸小到0.8mm×0.8mm);还可在某些应用中实现低器件成本。此外,由于IC传 感器在生产测试过程中都经过校准,因此没有必要进一步校准。它们通常用于健身跟踪应用、可佩戴式产品、计算系统、数据记录器和汽车应用。
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