{洁净室检测}——{温湿度检测}
——洁净室检测之温湿度检测——
洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。一般测试适用于处于空态的交竣验收测试，综合测试适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。
本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。1泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。
{洁净室检测}
——***过滤器检漏目的——
为了通过测出允许的泄漏量，发现***过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。在洁净室中，***过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用***过滤器（HEPA)，但***过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的，但工程安装结束后却未达到预定的效果，检测发现不是污染粒子超标，就是***数超标，并且还往往找不出真正原因。其实此类事情的发生，往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作，其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。
