真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。在使用真空烧结炉中要进行维护***，只有做好***才可以更长久地使用。
真空烧结炉的维护工作是有哪些呢
真空烧结炉炉子外表面经常擦拭，保持清洁干净。零件及零件车需清洗干燥后方可进入炉内，以避免水分、污物进入炉内。炉内有灰尘或不干净时，应用酒精或汽1油浸湿过的绸布擦拭干净并使其干燥。炉体上的密封结构，真空系统等零部件拆装时，应用酒精或汽1油清洗干净并经过干燥后，涂上真空油脂再组装上。各传动件如果出现限位不准、控制失灵、卡位等现象时，应该立即停止，不要强行进行操作，以免损坏机件。
真空烧结炉加热方法是什么
真空烧结炉的热处理工艺包括加热、保温、冷却三个过程。但有时只有加热与冷却两个过程。这些过程都是互相衔接，不可间断。加热是热处理中重要工序之一。真空烧结炉对金属热处理的加热方法很多，早期是采用木炭和煤作为热源，进而使用液体与气体燃料。同时也是，工艺参数之一。选择和控制加热温度是保证速凝炉热处理质量的主要问题。加热温度随被处理的金属材料和热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温***。
