




密闭条的设置。通常所提的净化车间门的空气泄漏无非是由上述三种缝隙产生的问题。在经常启闭净化车间门扇通行的情况下,除某些外净化车间门为避开重设备等运输时可能对净化车间门楼的碰撞面把密闭条全部设置在净化车间门扇上,或者一些内净化车间门由于车间运输原因不允许在地面设置净化车间门槛只能在靠近地面的净化车间门扇底部安装吊挂式扫地密闭条外,一般情况下,为了使密闭条尽量避免手摸、脚踩或车碰,少受人行与运输的影响,多将长宽仪几毫米的小断面成型弹性密闭条敷设在净化车间门提的隐蔽凹槽部位,再借净化车间门扇的关闭压紧。
工程的规划首先要加强对设计单位设计净化工程图纸质量的外部监督与审查。而洁净度要求越高,温湿度控制精度越高则洁净室***和运行成本越高,因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下,将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。充分发挥洁净室图纸审查中心的职能作用,像工程质监站监督施工质量一样,审查、监督设计质量。洁净工程图纸的质量高低是关系到此洁净工程的建造成本控制等一系列净化工程重要控制目标能否达成之物。制订设计奖惩制度。设计图纸被审查中心确认为设计的应给设计单位以特殊荣誉,对设计人员实施奖励。
洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间,其主要部件有预过滤器、***过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。洁净工作台有足够的送风量,选择合适的气流流形和可靠的过滤装置,确保所需的空气洁净度等级;有排风装置时,应选用必要的排风处理装置或技术措施,达到不污染室内外环境的排放要求;噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求;操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘;工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调;工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制,至少应装设必要的显示仪表显示工作台的工作状态;工作台内的过滤器应拆装方便。坐在鞋柜上,把室外鞋脱下后放入鞋柜内,双脚不要着地,同时转身换上洁净区专用鞋。