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流量
单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
流导
表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q
压力或压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。
标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。
极限真空
真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。
水环真空泵和罗茨真空泵比较的话有一个缺点是在同等电机功率,低真空度的时候罗茨真空泵的抽气量远远大于水环真空泵,但是当真空度达到-0.05Mpa以上的时候,双方的抽气量就差不多了
水环泵的优点是泵可以进入少量的水,运转噪音远远小于罗茨真空泵,结构简单维修方便
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按性能特点和用途分类
(1)低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
(3)高真空泵
极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。