电子气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品良率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限（直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米，而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线宽已经发展到纳米，对于大宗气体的纯度都要求在级别，颗粒度控制直指分析仪器的下限。实验室超高亮度技术指标已达到以上，对于氢气和氨气的纯度控制要求也都小于氨气则釆用多级精馏生产技术指标到达的白氨的氢气需要采用***的钯膜纯化器提纯至。
因为电子工业***规模越来越大，缩短建设周期，降低建设成本也越来越重要。对电子气体输送系统而言，如何在不降低系统污染控制水平和不牺牲安全配置前提下，努力减少建设和运行成本，同样是一个挑战。合理配置系统，合理选型材料，可显著降低初始***费用。这就要求电子气体输送系统承包商具备较强的系统设计能力。性质相匹配的气体，采用同一吹扫氮气系统，可显著节约气瓶柜的***。对于可采用移动式吹扫氮气盘。小
管路的施工，直接采用弯管的方式，即节约了弯头的费用，也大大提高了施工效率。严格执行高纯管路施工规范，可大大降低测试气体和测试时间。这些都是行之有效的成本控制措施。采用大包装容器的气源，可大大降低物流和人力操作等运行费用。因而越来越受到更多客户的青睐。
氮气纯度影响因素
回流比的影响精馏产品纯度在一定条件下取决于回流比大小。回流比是指塔内下流液氮量与上升富氧蒸汽量之比。回流比大时,即下流液氮多或者上升的富氧蒸汽少,气液混合温度必然偏于低温液氮一边,于是上升蒸气的温降就大,富氧蒸气冷凝的就多,离开塔板氮浓度提高的就快,在塔顶得到气体含氮气纯度就高。
所以在生产中要尽量增大回流比。精馏工况异常在精馏塔发生液泛或液漏等情况时,***了精馏塔的正常精馏工况,造成纯度下降。液泛现象如果塔板上液体难以沿溢流斗流下,造成溢流斗内液面越涨越高。直至与塔板上的液面相平,液体无法下流,就叫液泛或液悬。
