十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子(或洁净头套)后，经过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换完毕后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级以及高于万级的洁净区域。十万级无尘车间车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒。
十万级无尘车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒物脱落，并应耐清洗和耐酸碱，墙壁和地面、吊顶结合处做成弧形，踢脚不宜高出墙面，当采用轻质材料融断时，应采用防碰撞措施。
十万级无尘车间的地面应整体性好、平整、耐磨、耐撞击、不易积聚静电、易除尘清洗，地面垫层应配筋，潮湿地区应做防潮处理。
十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。
技术夹层为轻质吊顶时，设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送回风系统相适应并易于除尘。
无尘车间不仅能够保证工作人员的身体健康，而且对产品的质量、精度、成品率、稳定性等也都是有着显著的作用。3、吹淋室不能作为一般出入通道，由于这种门常为两扇联锁或自动，一旦出现故障，非常影响疏散，所以一般均在风淋室设旁通门，工作人员多于5人时必须设此门。无尘车间装修是一个非常具有技术性的行业，不仅需要具备超高的洁净度，有些地方还需具有防尘、防火、保温、抗静电等要求。
无尘车间装修材料选择：
1、必须用防水石膏板。
2、木材的含水率不大于16%，否则易干裂、变形、松动等。
3、装修材料表面具有一定的耐化学性。
4、装修材料有一定的耐氧化性。
5、淋浴区域，***1好选用具有防滑功能的陶瓷砖。
6、防1菌墙塑，寿命短，易变形、起鼓，装修档次低窄。
7、无尘车间装饰面板：装饰面板(俗称面板)是一种高1级装料。
工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻***过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。送风量大：为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
