真空淬火炉达不到所要求的工作真空度是比较常见的故障现象之一，同是也是比较难以解决的故障，它对生产和设备的危害比较大，带病生产甚至会造成加热室损毁的严重后果。真空泄漏故障维修的关键，是看能否准确地判断出故障点（泄漏点）。真空度抽不上去的可能原因很多，也许是真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或是两者都有，这时候就要想办法进行排查：将真空室抽到一定的真空状态后，关闭真空阀，如果真空计数值上升很快，多数情况是真空室漏了，这时应先查出漏点并且治漏。如真空计数值上升很慢，就可能是真空机组抽气能力不够，这时可将***放到查找真空泵及阀门的泄漏上，或是真空泵汕污染、氧化了，或是前级管路密封不好，泵汕不足，或是泵汕乳化，轴封漏汕等，这时要史换真空泵汕或直接史换真空泵。如果发现是设备真空度在短时间内迅速卜降，一般是山炉门、真空阀、中间隔热门等动态密封件老化、划伤及氧化皮脱落至密封线上所致，可以通过清理史换密封件，手动开关阀门检修。如果这些地方没有问题，那就还要检查真空室与外界接口位置，如连接法兰、水冷电极、管道及真空管等，有时可使用丙1酮检漏法观察真空度变化，仔细查找漏点。实在找不到漏点的话，就要把所有怀疑可能漏气的地方全部拆检并重新安装，或者加工实心法兰堵住后进行试验。
高真空炉
在接近真空状态下通过电热元件加热的工业炉。
真空炉真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10~10)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。***1高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。
真空铝钎焊炉
主要适用于汽车散热器、空调蒸发器、冷凝器、中冷器、雷达网格天线、波导管以及各种板翘式或管片式换热器的真空焊接。
真空高温钎焊炉
主要适用于不锈钢、高温合金、硬质合金、有色金属等材料的真空钎焊。
室高压气淬真空炉主要用于弹性合金、冷热作模具钢、高速钢、高温合金、不锈钢、钛合金、磁性材料等材料的高压气淬以及真空烧结、真空钎焊等工艺。
