质量流量计简介
质量流量：
以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm)
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质量流量计的原理
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目前，国内使用较为广泛的是热式气体质量流量计。
其原理如下：“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K -------仪表常数）
质量流量计故障处理方法
硬件故障若出现误差偏大，积算器显示不亮或不增值，显示器空白位等现象，其原因：
a.安装不规范，可直接导致流量计零漂，如质量流量计安装在泵出口处较近，传感器支撑强度不够，连接法兰焊接不当产生应力信号，电缆受电磁干扰。
b.接线问题若出现显示器不亮现象，应检查积算器电源连线，若出现***丝被烧，应确认输入电压与标准电压标称值，交直流形式是否一致。又若出现积算器不随流量增加时，应检查积算器接线，若积算器装有正/反向程序，应检查流量计接线，因流量计接线不正确，会使积算器在反向流时不递增。
c.工艺介质变化若测量介质出现夹气，气化或两相流等现象，变送器会出现报警显示，严重时，传感器停止工作。
d.变送器失效。
e.传感器失效。
f.管道吹扫问题。
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