净化工程之“肺“--HEPA过滤器的由来
以确保空气清洁，使科学家可以免遭危害。随后科学家在约翰斯·滕豪斯所改良的空气过滤器的基础上进一步的发展研发，终于研发出了HEPA过滤器。这种过滤器不仅可以净化空气，还可以去除空气中的***、病毒、灰尘、花粉、霉菌孢子等粉尘及颗粒物。
早的过滤器为有隔板过滤器,用瓦楞状铝箔隔板分隔滤纸。20世纪70年代之前。
过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用
按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连，测量上游气溶胶的浓度。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10 mg/L~30 mg/L。
扫描检漏卸下HEPA的散流板，对整个过滤器面、过滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
扫描时采样头距过滤器面约1英寸（约2. 54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声（即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处使用专用胶水堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5 min左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度。
