氮化铝陶瓷加工
氮化铝陶瓷 ALN
氮化铝陶瓷具有很好的热传导性、绝缘性、放热性、耐热冲击性等。可作为防热耐热材料。
主要用途：
半导体制造装置部品；防热性基材等。
ALN的性能特点
氮化铝陶瓷有很高的热导率，在陶瓷材料中仅次于SiC和BeO，目前国内平均水平为150W／m·K，国外为180 ～ 250／m·K，是氧化铝陶瓷热导率的7 ～ 8 倍；其机械强度和介电强度都优于氧化铝陶瓷，膨胀系数、介电性能分别与Si和氧化铝陶瓷相近。因而人们希望用高热导率的氮化铝陶瓷替代氧化铍或氧化铝陶瓷用于高密度、电子封装的陶瓷基板材料。
3.1.1加工导电性陶瓷：工程陶瓷中的相当一部分具有- 定的导电性,因而可用电火花直接加工。瑞士一学者通过对不同的导电陶瓷进行电火花加工 ,发现适用于金属的电火花加工理论对导陶瓷却不适用,研究表明材料去除率和加工表面粗糙度,不仅取决于物理加工参数,一而且还与材料本身有关。另有研究表明,当陶瓷材料的电阻率小于100∩. cm时,对其进行有效的电火花加工。对导电陶瓷的电火花加工,可采用普通的加工方法和设备。
1.电火花线切割加工：火花线切割加工是研究得较多也是较为成熟的一种，-般的研究都是试图找出线切割加工的各种电参数与加工质量和加工效率之间的关系,国内也做了大量的工作。近,江苏理工大学朱曾采用普通的数控式线切割机对工程陶瓷A1203-TiC线切割加工电参数进行优化试验,找出影响生产率和表面粗糙度的主要因素和较优组合。研究结果表明:电源脉冲间隔对生产有利;加工生产率在较小的脉宽范围内并不随脉宽的增加而提高,较小的脉宽也能取得较高的生产率,这与金属加工的加工生产率一般随脉宽的增加而提高不同;脉冲电压幅值对加工表面粗糙度的影响较大。可观,较大的脉冲间隔和较大的脉冲电压幅值对陶瓷材料的加工有利。
