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真空泵碳精片

真空泵碳精片系干式泵浦里面的旋片，是泵浦变容获得的真空的重要零部件。由于真空泵碳精片由石墨材质制造以及真空泵碳精片所处的无油润滑环境，致使真空泵碳精片对抗磨损以及高温性能具有很大的要求。

真空泵碳精片具有以下特点：

一、具有很高的弹性极限、抗疲rao轻度出色能够适应高强度的泵浦运转

二、材质中的碳元素主要以碳的单质，即游离状石墨，端口为暗***，致使真空泵碳精片硬度更高，耐磨性能更加出色。

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视频作者：东莞市海扬真空设备有限公司

真空泵碳片

硅化石墨的制备

硅化石墨的生产方法主要有三种化学气相沉积法(CVD)，丹霞街道真空泵碳片，化学气相反应法(CVR)及液硅渗透反应法。

1.化学气相沉积(CVD))法

使含硅、碳的气体通过高温石墨基体发生热分解，生成SiC沉积在石墨基体表面。原料为(CH3SiC3)、氢、硅蒸气等。沉积温度范围较宽，从1175℃到1775℃。用此法生成的SiC层非常致密，加工真空泵碳片，厚薄均匀，无油真空泵碳片，一般厚度约为0.1～0.3mm。但SiC与石墨基体的结合为纯机械结合，结合力较弱，真空泵碳片价格，在温度急变时SiC层易发生龟裂、剥落。

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