锐创泵业(图)-小型真空泵-南京真空泵

循环式真空泵的使用方法

　　1.使用时，打开水箱上盖注入清洁的凉水(亦可经由放水软管加水)，小型真空泵，当水面即将升至水箱后面的溢水嘴下高度时停止加水。重复开机可不再加水，但时间每星期更换一次水，如水质污染严重，使用率高可缩短更换水的时间，始终要保持水箱中的水清洁。

　　2.抽真空操作，将需要抽真空的设备的抽气套管紧密接于本机抽气嘴上，检查循环水开关应关闭，接通电源，打开电源开关，即可开始抽真空，通过真空表可观察真空度。

　　3.若使用抽滤，首先检查抽气套管是否有裂纹、漏气，如果有，则停止使用，应及时更换抽滤管，并使用合适的抽滤锥形瓶，以保证仪器正常工作。使用中，注意观察真空表盘，如有不正常，则立即停止使用仪器。

　　4.当真空泵需长时间连续作业时，水箱内的水温将会升高，影响真空度，此时可将放水软管与水源(自来水)接通，溢水嘴作排水出口，适当控制自来水流量，即可保持水箱内水温不升高使真空度稳定。

　　5.使用完毕，关闭电源，并将仪器清扫干净。

真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，南京真空泵，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，真空泵***，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵的材质要求

1、要有足够的机械强度和刚度，从而保证壳体能承受较大的大气压力，在加热烘烤时不可发生变形。

2、化学稳定性好。真空泵的材质要有较强的和抗腐蚀能力，不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。

3、在工作温度和烘烤温度下，饱和蒸气压要足够低。

4、热稳定性好。在系统的工作温度范围内，能始终保持良好的真空性能和机械性能。

5、在工作真空度及工作温度下，真空容器内部的器件应保持良好的工作性能。

6、另外，真空泵的材质要有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能，易加工成复杂形状的壳体。

7、气密性好。它在工作时，要保持在很高的真空环境下，所以器壁材料不可以存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷，渗透速率和出气速率要低。