高纯氮气主要指的是对现有的氮气进行纯化，从而得到几乎不含任何杂质的气体。对氮气进行纯化的主要方法有吸附法、分离法与变压法，通过纯化的过程得到高纯度氮气。高纯度氮气具有较多优势，其用途十分广泛。
可以将高纯氮气运用在大规模集成电路和半导体原件的的制作上，为其提供氮气源保护作用，还可以将高纯氮气运用在清洗、密封、置换、蒸发等工作中，充分利用高纯氮气的优势，为高纯洁净环境空间提供气体保护，高纯氮气甚至还可以运用在航天技术中，保障航天行业发展。高纯度氮气具有较多优势，只要使用得当，就会起到促进行业生产与发展的作用。
标准气体气瓶处理技术亟待解决
随着高额利润，这几年国内出现了大量的食品使用催化剂等药，从而缩短植物生长周期，提高产量，更有些不法商为了赶在水果上市之前给果物***大量的催熟剂和催红剂，使作物看上去美味可口。经过催化的植物性食物或动物性食物里面残余的激量都会过高，标准气体，如果孩子经常吃这些被催化的食物，便有导致紊乱的***。由于这类事件的频繁发生，导致现在人们对生活和工作的环境越来越重视，这要求活性标准物质如含硫、含氯、含氟、含氨的标准气体浓度越来越低。由于这些气体化学活性极高，在一般气瓶中，其稳定性很差。发达***对气瓶处理技术十分重视，各种处理技术各有特点。如：镀镍、镀金、涂覆有机高分子。
而我国仅在“八五”期间开展过此方面的工作，但时至今日，有些处理技术仍满足不了市场的需求，马鞍山气体，如N2～10×10一C12以下浓度标气的稳定性急需解决。有许多标气配制人员，对气瓶处理重视不够，加之用户对此认识不清，这样该换白钢阀门的不换，该做涂层的也不做。这样的标气用于校准报警仪器，虽然一般情况下，看不出有问题，但这样的报警仪器无疑形同虚设。有的人认为只要进行所谓的预报和，就会避免组分破“吃”的问题，但是，假如不进行配后的分析，有时仍将导致组分含量剧增。因此，工业气体，尽早地进行的气瓶处理是配制稳定可靠活性标气的重要前提。
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，二氧化碳气体，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。
电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。
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